Schmelzquarz Ringe & Flansche
Quarzglas-Fokusring und Ätzring
Präzisionsbearbeitete Quarzglas-Fokusringe, Ätzringe und Edge Rings für Plasmaätz- und CVD-Kammern mit ±0.01 mm Toleranz und Ra 0.1 μm Oberfläche.
Nach Halbleiterprozess
Ätzen (Nass / Trocken / Plasma)
Plasmabeständige Quarz-, Saphir- und Keramikkomponenten für Nass-, Trocken- und Plasmaätzanlagen, bei denen Gleichmäßigkeit und Reinigbarkeit entscheidend sind.
Passende Komponenten
Fokusringe, Kammern, Gasverteiler
6 Ergebnisse
Schmelzquarz Kammern & Glasglocken
Quarzglas-Bell-Jar und Dome
Geblasene und geformte Bell Jars und Dome aus Quarzglas für CVD-, Epitaxie- und Sputterreaktoren, bis 500 mm Durchmesser mit hermetischen Schweißflanschen.
Schmelzquarz Sonderteile
Quarzglas-Reinigungstank
Geschweißte Nassreinigungsbehälter aus Quarzglas für HF-, SC-1-, SC-2- und Piranha-Prozesse in der Halbleiterfertigung, als Einzel- oder Kaskadentank in kundenspezifischen Größen.
Schmelzquarz Platten & Fenster
Quarzglas-Sichtfenster
Optisch polierte Quarzglas- und Saphir-Sichtfenster für die Überwachung von Halbleiterprozesskammern, mit UV- bis Mittel-IR-Transmission und hermetischen Metall- oder CF-Flanschen.
Saphir Platten & Fenster
Saphirfenster und optische Planplatte
Einkristalline Saphirfenster und optische Planplatten für Halbleiterprozesskammern mit UV- bis Mittel-IR-Transmission, Ra < 0.1 nm sowie hoher Plasma- und Chemikalienbeständigkeit.
Schmelzquarz Sonderteile
Kundenspezifische Präzisionsteile
Zeichnungsbasierte Sonderfertigung von Komponenten aus Quarzglas, Saphir und technischer Keramik, vom Prototyp bis zur Serie und passend zu jeder Geometrie und Spezifikation.