Schmelzquarz Rohre & Liner
Quarzglas-Diffusionsrohr
Hochreine Quarzglas-Diffusions- und Oxidationsrohre für Halbleiteröfen, als gerades Rohr, mit Flansch oder Bell-End für 4- bis 12-Zoll-Waferprozesse.
Nach Halbleiterprozess
Diffusion & Oxidation
Hochtemperatur-Quarzkomponenten für Dotierdiffusion, thermische Oxidation und Temperprozesse mit hohen Anforderungen an Reinheit und Formstabilität über 1100°C.
Passende Komponenten
Prozessrohre, Waferboote, Flansche
7 Ergebnisse
Schmelzquarz Boote & Träger
Quarzglas-Waferboat
Präzisionsbearbeitete Waferboats aus Quarzglas für horizontale und vertikale Diffusionsöfen, mit 25-Slot-Standard und kundenspezifischer Slotanzahl für 4- bis 12-Zoll-Wafer.
Schmelzquarz Ringe & Flansche
Quarzglas-Flansche und Fittings
Präzisionsbearbeitete Quarzglasflansche, Reduzierstücke, Bögen und Rohrfittings für Halbleiter-Gasleitungen und Ofenrohrbaugruppen, kompatibel mit Standard-Metallflansch-Schnittstellen.
Schmelzquarz Sonderteile
Quarzglas-Gasinjektor und Showerhead
Präzise Mehrloch-Gasinjektoren und Showerheads aus Quarzglas für gleichmäßige Gasverteilung in CVD-, ALD- und Diffusionsofensystemen, mit Lochpositionsgenauigkeit bis ±0.02 mm.
Schmelzquarz Platten & Fenster
Quarzglas-Baffle und Einsatz
Kundenspezifisch bearbeitete Quarzglas-Baffles, Liner und Wärmeschilde für Halbleiter-Ofenrohre, Diffusionssysteme und CVD-Reaktoren.
Aluminiumoxid (Al₂O₃) Boote & Träger
Keramischer Wafercarrier und Boat
Hochreine Aluminiumoxid- und Siliziumkarbid-Wafercarrier, Boats und Kassetten für Hochtemperaturprozesse in der Halbleiterfertigung mit hoher Verschleiß- und Temperaturwechselbeständigkeit.
Schmelzquarz Sonderteile
Kundenspezifische Präzisionsteile
Zeichnungsbasierte Sonderfertigung von Komponenten aus Quarzglas, Saphir und technischer Keramik, vom Prototyp bis zur Serie und passend zu jeder Geometrie und Spezifikation.