Anwendungen
Wissenschaftliche Forschung und Labor
Hochreine Komponenten aus Quarzglas, Saphir und Spezialkeramik für Universitäten, Forschungsinstitute und anspruchsvolle F&E-Anwendungen.
Quarzglas und Hochleistungskeramik für die Forschung
Forschungsanwendungen verlangen oft mehr als Standard-Halbleiterfertigung: höhere Reinheit, ungewöhnliche Geometrien, kleine Stückzahlen und stabile Werkstoffe für extreme Temperaturen, Strahlung oder aggressive Medien.
Typische Forschungsanwendungen
UHV-Systeme
- Sehr geringe Ausgasung nach Bakeout
- Niedrige He-Leckraten bei geschweißten Baugruppen
- Monolithische Konstruktionen ohne Klebefugen
Hochtemperatur-Reaktionsrohre
| Temperaturbereich | Material | Form |
|---|---|---|
| Bis 1200°C | Quarzglas | Rohr, Boot, Tiegel |
| Bis 1700°C | Al₂O₃ 99,9% | Rohr, Boot, Tiegel |
| Bis 2000°C | BN | Tiegel, Liner, Düse |
| Bis 2200°C | SiC | Rohr, Suszeptor |
Kristallzüchtung
- Quarztiegel für CZ-Silizium
- Zuchtrohre aus Quarzglas oder Al₂O₃
- BN- oder SiC-Suszeptoren für RF-Systeme
Neutronen- und Röntgen-Beamlines
| Komponente | Material | Eigenschaft |
|---|---|---|
| Neutronenfenster | Synthetisches Kieselglas | Niedriger Einfangquerschnitt |
| Röntgenkapillare | Quarzglas | Dünnwandig, transparent |
| Probenzelle | Quarzglas | Chemisch beständig, transparent |
| Kryostatfenster | Saphir | IR-Transmission bei tiefen Temperaturen |
Plasmaphysik
- UHV-kompatible Quarz-Viewports
- Hochreine Isolatoren aus Quarz und Keramik
- Saphirfenster für hoch belastete Sichtbereiche
Prototypen- und Kleinserienservice
- 1 bis 10 Stück pro Bestellung möglich
- Komplexe Geometrien nach Zeichnung
- Kurze Lieferzeiten für moderate Komplexität
- Technische Unterstützung bei Werkstoffwahl und Design