Schmelzquarz
Quarzglas-Fokusring und Ätzring
Präzisionsbearbeitete Quarzglas-Fokusringe, Ätzringe und Edge Rings für Plasmaätz- und CVD-Kammern mit ±0.01 mm Toleranz und Ra 0.1 μm Oberfläche.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 |
| OD Tolerance | ±0.02 mm |
| ID Tolerance | ±0.02 mm |
| Flatness (Top Surface) | < 0.02 mm |
| Parallelism | < 0.02 mm |
| Surface Roughness | Ra 0.1–0.4 μm |
Quarzglas-Fokusring und Ätzring
Quarzglasringe stabilisieren im Plasmaprozess das elektrische Feld, den Gasfluss und die Abscheidung am Waferrand. Maßgenauigkeit und Oberflächenqualität beeinflussen direkt die Prozessuniformität.
Fertigung und Qualität
Außen- und Innendurchmesser, Ebenheit, Parallelität, Fasen und Rauheit werden kontrolliert. Verschleißteile können mit kompatiblen Maßen zu bestehenden Anlagen gefertigt werden.
Angaben für die Anfrage
Bitte senden Sie Zeichnung, Musterteil, Kammermodell, kritische Maße und Oberflächenanforderungen.
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