Quarz- und Keramikkomponenten für die Solarzellenfertigung
Die PV-Fertigung nutzt ähnliche Anlagen wie die Halbleiterproduktion, arbeitet aber mit deutlich höherem Durchsatz. Deshalb stehen Austauschzyklen, Serienfähigkeit und Kostenkontrolle stärker im Fokus.
Wichtige PV-Prozesse
P/N-Übergangs-Diffusion
| Komponente | Material | PV-spezifischer Punkt |
|---|
| Diffusionsrohr | Quarzglas Grade 1 | Hoher Durchsatz, häufige Zyklen |
| Wafer-Boot | Quarzglas Grade 1 | 156 / 210 mm Formate |
| Quellrohr | Quarzglas Grade 1 | Kompatibel mit POCl₃ |
| Paddel / Fork | Quarzglas Grade 1 | Handhabung großer Wafer |
PECVD
| Komponente | Material | Anforderung |
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| Elektrodenplatte | Quarzglas Grade 1 | Plasma-transparent, geringe Kontamination |
| Gasverteilplatte | Quarzglas Grade 1 | Gleichmäßiges Lochbild |
| Chamber-Liner | Quarzglas Grade 1 | Verhindert Anhaften an Metallwänden |
| Komponente | Material | Anforderung |
|---|
| Muffelrohr | Quarzglas Grade 1 | Thermozyklusfest |
| Strahlrohr | Quarzglas Grade 1 | Gleichmäßige IR-Abgabe |
| Förderunterstützung | Al₂O₃ oder SiC | Hohe Thermoschockbeständigkeit |
Texturierung
| Komponente | Material | Chemie |
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| Texturierungstank | Quarzglas Grade 1 | KOH / NaOH oder HF / HNO₃ |
| Spültank | Quarzglas Grade 1 | DI-Wasser |
| Overflow-Wehr | Quarzglas Grade 1 | Kaskadenspülung |
Serienversorgung
- Rahmenaufträge und Abrufmodelle
- Schnelle Ersatzlieferung für Standardrohre und Boote
- Gute Chargenkonstanz für automatisierte Anlagen
