Materialien
Präzisionskeramik
Aluminiumoxid-, Zirkonoxid-, Aluminiumnitrid- und Siliziumkarbid-Präzisionskeramik für Halbleiter-, Vakuum-, Wärmeprozess- und Automatisierungsanlagen.
Technische Keramik für anspruchsvolle Prozesse
Präzisionskeramik wird dort eingesetzt, wo Metalle oder Polymere Anforderungen an Temperatur, Plasma, elektrische Isolation oder Verschleißfestigkeit nicht erfüllen. In Halbleiteranlagen dienen keramische Bauteile als Isolatoren, Halter, Düsen, Chucks, Ringe, Führungen und Strukturteile.
Tuguan fertigt kundenspezifische Bauteile aus Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Aluminiumnitrid, Siliziumkarbid und weiteren Hochleistungskeramiken. Die Materialauswahl richtet sich nach Temperatur, mechanischer Belastung, Wärmeleitfähigkeit, Plasmaexposition und Anforderungen an die Kontaminationskontrolle.
Materialoptionen
| Material | Wichtige Eigenschaften | Typische Anwendungen |
|---|---|---|
| Aluminiumoxid Al2O3 | Hohe Isolation, Festigkeit, wirtschaftlich | Isolatoren, Abstandshalter, Rohre, Ringe |
| Zirkonoxid ZrO2 | Hohe Zähigkeit und Verschleißfestigkeit | Stifte, Führungen, Präzisionsmechanik |
| Aluminiumnitrid AlN | Hohe Wärmeleitfähigkeit bei elektrischer Isolation | Wärmemanagement, Heizerelement-Halter |
| Siliziumkarbid SiC | Hohe Festigkeit, Temperaturwechsel- und Plasmaresistenz | Suszeptoren, Ringe, Hochtemperaturstrukturen |
| Siliziumnitrid Si3N4 | Hohe Zähigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit | Rollen, Lager, hochbelastete Teile |
Typische Anwendungen
- Isolatoren, Abstandshalter und Halter für Halbleiteranlagen
- Keramikringe, Düsen und Liner für Plasmasysteme
- Stifte, Führungen und Endeffektoren für Waferhandling
- Keramikrohre, Boote und Träger für Hochtemperaturöfen
- Elektrische Isolierbauteile für Vakuum- und Messsysteme
- Verschleißfeste Ausrichtbauteile für Automatisierungssysteme
Fertigungsmöglichkeiten
Keramikbauteile werden meist durch eine Kombination aus Formgebung vor dem Sintern und Präzisionsbearbeitung nach dem Sintern hergestellt. Endgeometrien können durch Diamantschleifen, Läppen, Polieren, Ultraschallbearbeitung und Laserbearbeitung erreicht werden.
Unsere Möglichkeiten umfassen:
- Kundenspezifische Keramikbauteile nach Zeichnung
- Präzisionsschleifen von Mikrolöchern, Schlitzen und Stufen
- Kontrolle von Ebenheit und Parallelität
- Geläppte und polierte Oberflächen
- Unterstützung für Keramik-Metall-Baugruppen
- Prototypen und Serienproduktion
Leitfaden zur Materialauswahl
Keramikwerkstoffe sollten passend zu den Leistungsanforderungen ausgewählt werden. Aluminiumoxid bietet gute Isolation und Wirtschaftlichkeit. Zirkonoxid liefert hohe Zähigkeit und sehr gutes Verschleißverhalten. AlN ist sinnvoll, wenn elektrische Isolation und Wärmeleitfähigkeit kombiniert werden müssen. SiC eignet sich für hohe Temperaturen, Plasma und korrosive Umgebungen.
Hilfreiche Angaben für die Prüfung sind:
- Einsatztemperatur und Temperaturzyklen
- Vakuum-, Plasma- oder Chemikalienexposition
- Anforderungen an elektrische Isolation oder Wärmeleitfähigkeit
- Mechanische Belastung und Montageart
- Anforderungen an Oberflächenrauheit und Partikelkontrolle
- Erwartete Stückzahl und Prüfkriterien
Qualitätskontrolle
Präzisionskeramik-Bauteile werden auf Maße, Aussehen, Oberflächenqualität und wichtige Funktionsmerkmale geprüft. Bei Bedarf stellen wir Materialzertifikate, Prüfberichte, Rauheitsdaten und Reinigungsprotokolle bereit.
Für hochreine oder kontaminationsempfindliche Umgebungen können spezielle Reinigungs- und Schutzverpackungsoptionen angewendet werden.
Zusammenarbeit mit Tuguan
Wenn Sie ein neues Keramikbauteil entwickeln oder die Leistung eines bestehenden Teils verbessern möchten, senden Sie uns Zeichnungen, Muster oder Einsatzbedingungen. Wir unterstützen Sie bei Materialauswahl, Bearbeitungsstrategie, Toleranzprüfung und Serienlieferung.