Schmelzquarz
Quarzglas-Bell-Jar und Dome
Geblasene und geformte Bell Jars und Dome aus Quarzglas für CVD-, Epitaxie- und Sputterreaktoren, bis 500 mm Durchmesser mit hermetischen Schweißflanschen.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Max Diameter | Reviewed by drawing and forming route |
| Wall Thickness Uniformity | Specified per drawing |
| He Leak Rate | Leak testing reviewed when specified |
| Flange Flatness | Specified per sealing requirement |
| Bubble Class | Visual quality reviewed by application |
Quarzglas-Bell-Jar und Dome
Quarzglas-Bell-Jar und Dome
Bell Jars und Dome aus Quarzglas bilden saubere transparente Reaktionsräume für hohe Temperatur, Plasma und Vakuum. Sie werden in CVD-, Epitaxie- und Sputteranlagen eingesetzt.
Fertigung und Qualität
Flammenformen, Schmelzschweißen und Tempern werden kombiniert, um Wandstärkengleichmäßigkeit, Flanschplanheit und Dichtheit zu kontrollieren. Für Vakuumanwendungen ist Helium-Leckprüfung möglich.
Angaben für die Anfrage
Bitte senden Sie Außendurchmesser, Höhe, Flanschform, Portpositionen, Vakuumanforderung und Einsatztemperatur.
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