Schmelzquarz
Quarzglas-Sichtfenster
Optisch polierte Quarzglas- und Saphir-Sichtfenster für die Überwachung von Halbleiterprozesskammern, mit UV- bis Mittel-IR-Transmission und hermetischen Metall- oder CF-Flanschen.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Materials Available | Fused quartz / Synthetic fused silica / Sapphire |
| Surface Roughness | Reviewed by optical specification |
| Surface Form | Reviewed by optical specification |
| Parallelism | Reviewed by drawing |
| He Leak Rate | Leak testing can be arranged when specified |
| AR Coating | Coating specifications reviewed case by case |
Quarzglas-Sichtfenster
Quarzglas-Sichtfenster
Sichtfenster werden für Kammerbeobachtung, optische Messung und Laserdurchführung eingesetzt. Je nach Wellenlänge, Temperatur und Plasmaumgebung wählen wir Quarzglas, synthetisches Quarzglas oder Saphir.
Fertigung und Qualität
Optisches Polieren, Ebenheit, Parallelität, AR-Beschichtung und hermetische Flanschmontage können entsprechend der Spezifikation umgesetzt werden.
Angaben für die Anfrage
Bitte nennen Sie Wellenlänge, Fensterdurchmesser, Dicke, Ebenheit, Beschichtung, Flanschstandard und Leckanforderung.
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