Wie man den richtigen Quarzglas-Typ für Halbleiteranwendungen auswählt
Praxisleitfaden zur Auswahl zwischen natürlichem Quarzglas, synthetischer Kieselsäure und opakem Quarz für Diffusionsrohre, Waferboote, CVD-Reaktoren und Nassbänke.
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Praxisleitfaden zur Auswahl zwischen natürlichem Quarzglas, synthetischer Kieselsäure und opakem Quarz für Diffusionsrohre, Waferboote, CVD-Reaktoren und Nassbänke.
Beide Materialien basieren auf SiO2 und sind amorph, unterscheiden sich jedoch deutlich bei Reinheit, optischer Qualität und Kosten. Dieser Beitrag erklärt die Unterschiede und ihre praktische Relevanz.
Alle wichtigen Quarzkomponenten eines horizontalen Diffusionsofens im Überblick: Rohre, Boote, Baffles, Flansche und Injektoren mit Materialanforderungen, Maßangaben und Austauschintervallen.