Materialien
Saphir-Bauteile
Hochreine einkristalline Saphirfenster, Rohre, Stifte und kundenspezifische Bauteile für Plasma-, Optik- und Hochtemperaturanlagen in der Halbleiterfertigung.
Transparente Hochleistungs-Keramik
Saphir ist die einkristalline Form von Aluminiumoxid und bietet außergewöhnliche Härte, chemische Stabilität und optische Transmission. Er wird häufig für Bauteile in Halbleiteranlagen eingesetzt, wenn mechanische Beständigkeit, Plasmaresistenz und Transparenz gleichzeitig gefordert sind.
Tuguan liefert Saphirfenster, Rohre, Stäbe, Stifte, Isolatoren und kundenspezifische Strukturteile für Plasmaanlagen, Hochtemperaturkammern, Sensormodule und Messsysteme.
Wichtige Eigenschaften
| Eigenschaft | Typischer Wert | Prozessvorteil |
|---|---|---|
| Material | Einkristallines Al2O3 | Hohe Reinheit und strukturelle Stabilität |
| Härte | Mohs 9 | Hervorragende Kratz- und Verschleißfestigkeit |
| Maximale Einsatztemperatur | Bis 1600°C | Geeignet für Hochtemperaturkammern und thermische Prozesse |
| Optische Transmission | Sehr gut in UV, sichtbarem und IR-Bereich | Geeignet für Sensoren und Sichtfenster |
| Chemische Stabilität | Beständig gegen Säuren und Plasma | Reduziert Korrosion und Kontamination |
Typische Anwendungen
- Saphirfenster und Liner für Plasmaätzanlagen
- Optische Fenster für Reaktoren und Messtechnik
- Saphirrohre und Isolatoren für Hochtemperaturöfen
- Saphirstifte für Waferhandling und Ausrichtung
- Schutzbauteile für Sensoren, Lampen und Lasersysteme
- Positionierbauteile mit hoher Verschleißfestigkeit
Fertigungsmöglichkeiten
Saphir ist extrem hart und spröde und erfordert spezialisierte Schleif-, Polier- und Kantenbearbeitungsprozesse. Wir verwenden Diamantwerkzeuge und Präzisionspolitur, um Oberflächenschäden, Ausbrüche und Mikrorisse unter der Oberfläche zu kontrollieren.
Typische Möglichkeiten umfassen:
- Flache, runde und kundenspezifische Saphirfenster
- Geschliffene oder polierte Saphirrohre und -stäbe
- Kleine Stifte, Düsen und Isolierbauteile
- Optische Politur und Kantenfasen
- Saphirteile nach Kundenzeichnung
Konstruktionshinweise
Die Festigkeit von Saphir wird durch Kristallorientierung, Kantenqualität und Oberflächenfinish beeinflusst. Bauteile mit Bohrungen, Schlitzen, dünnen Querschnitten oder scharfen Innenkanten sollten früh geprüft werden, um Bruchrisiken zu reduzieren.
Für optische Anwendungen sollten außerdem Transmissionsbereich, Oberflächenqualität, Ebenheit, Parallelität und mögliche Beschichtungsanforderungen definiert werden.
Qualitätskontrolle
Saphir-Bauteile werden auf Maßgenauigkeit, Kantenqualität, Oberflächenfehler und optisches Erscheinungsbild geprüft. Je nach Anwendung können Transmission, Ebenheit, Oberflächenrauheit oder Kristallorientierung dokumentiert werden.
Für sensible Halbleiteranwendungen bieten wir Reinreinigung und Schutzverpackung an.
Zusammenarbeit mit Tuguan
Teilen Sie uns Ihre Zeichnung, ein Muster oder die Einsatzbedingungen für ein Saphirbauteil mit. Wir prüfen Materialorientierung, Oberflächenspezifikation, erreichbare Toleranzen und Fertigungsrisiken, um eine zuverlässige Produktionslösung vorzuschlagen.