Fertigungskapazitäten
Präzisionsbohren und Schlitzbearbeitung
CNC-Diamantkernbohren, Ultraschallbohren und Präzisionsschlitzen für Quarz, Saphir und Keramik mit Bohrungen ab 0.3 mm und Positionsgenauigkeit bis ±0.01 mm.
Präzisionsbohren und Schlitzen spröder nichtmetallischer Werkstoffe
Beim Bohren und Schlitzen von Quarzglas, Saphir und technischer Keramik treten typische Risiken auf: radiale Risse, Ausbrüche am Ein- und Austritt, Konizitätsfehler und Wärmestau. Tuguan Semiconductor nutzt material- und werkzeugspezifisch optimierte Parameter, um ausbrucharme Bohrungen und enge Positionsgenauigkeiten in Serie zu erreichen.
Bohrverfahren
Diamantkernbohren
Das Standardverfahren für Bohrungen ab 0.8 mm. Hohle diamantbeschichtete Kerne entfernen Material ringförmig und reduzieren Schnittkraft und Wärme.
| Spezifikation | Standard | Präzision |
|---|---|---|
| Durchmesserbereich | 0.8–150 mm | 0.8–50 mm |
| Durchmesser-Toleranz | ±0.05 mm | ±0.01 mm |
| Positionsgenauigkeit | ±0.05 mm | ±0.02 mm |
| Rundheit | ±0.03 mm | ±0.01 mm |
| Konizität | < 0.02 mm / 10 mm | < 0.01 mm / 10 mm |
| Austrittsausbruch | < 0.3 mm | < 0.1 mm |
DI-Wasser-Flutkühlung, Ein- und Austrittsauflagen sowie materialabhängige Vorschübe verhindern Wärmestau und Ausbrüche.
Ultraschallbohren
Für Bohrungen unter 0.8 mm, sehr harte Werkstoffe wie Saphir und SiC oder hochpräzise Bohrungsfelder kombiniert das ultraschallunterstützte Bohren Rotation und axiale Vibration.
| Spezifikation | Wert |
|---|---|
| Minimaler Durchmesser | 0.3 mm |
| Max. Tiefe-zu-Durchmesser-Verhältnis | 10:1 |
| Innenrauheit | Ra 0.4–1.6 μm |
| Untergrundschädigung | < 5 μm |
| Konizität | < 0.005 mm / 10 mm |
Schlitzbearbeitung
Gerade und konturierte Schlitze in Quarz und Keramik werden mit diamantabgerichteten Trennscheiben oder Fräsern auf CNC-Bearbeitungszentren hergestellt.
| Merkmal | Fähigkeit |
|---|---|
| Min. Schlitzbreite | 0.5 mm |
| Schlitzbreiten-Toleranz | ±0.02 mm |
| Schlitztiefen-Toleranz | ±0.02 mm |
| Rauheit der Schlitzwände | Ra 0.8–1.6 μm |
| Innenradius | ≥ 0.3 mm |
Bohrungsfelder und Mehrlochmuster
Showerheads, Gasinjektoren und Trägerplatten werden mit servo-gesteuerten CNC-Programmen gefertigt. Vakuumspannungen halten das Teil in einer Aufspannung stabil, damit Lochabstände und Gasverteilung gleichmäßig bleiben.
| Spezifikation | Wert |
|---|---|
| Lochabstand-Wiederholgenauigkeit | ±0.02 mm |
| Max. Bohrungen pro Teil | 2,000+ |
| Durchmesseruniformität im Feld | ±0.01 mm |
| Positionsgitterfehler | ±0.03 mm (CMM-verifiziert) |
Qualitätsprüfung
Bohrungen und Schlitze werden nach Zeichnung mit CMM, Boreskop, Oberflächenprofilometer, Go/no-go-Lehren und optischem Mikroskop geprüft.