Materialien
Quarzglas für Halbleiterprozesse
Hochreine Quarzglas-Kammern, Rohre, Boote und kundenspezifische Bauteile für Diffusion, Ätzen, Reinigung und Messtechnik.
Entwickelt für ultrareine Prozesse
Quarzglas ist eines der bewährtesten Materialien für thermische und nasschemische Prozesse in der Halbleiterfertigung. Durch seine geringe Wärmeausdehnung, hohe Temperaturwechselbeständigkeit und sehr hohe chemische Reinheit eignet es sich für Anwendungen, in denen Temperaturstabilität, ionische Sauberkeit und Maßgenauigkeit gleichermaßen entscheidend sind.
Tuguan fertigt Quarzglas-Bauteile für Diffusionsöfen, Oxidationsöfen, CVD-Anlagen, Ätzsysteme und nasschemische Reinigungsmodule. Zum Lieferumfang gehören Prozessrohre, Boote, Paddles, Ringe, Kammern, Dome, Sichtfenster und kundenspezifische Bauteile nach Zeichnung.
Wichtige Eigenschaften
| Eigenschaft | Typischer Wert | Prozessvorteil |
|---|---|---|
| Reinheit | 99.99%+ SiO2 | Reduziert Alkali- und Metallverunreinigungen |
| Wärmeausdehnung | 0.55 × 10⁻⁶/K | Behält Maßstabilität bei Hochtemperaturzyklen |
| Erweichungspunkt | ca. 1665°C | Geeignet für thermische Prozessanlagen |
| Einsatztemperatur | Bis 1100°C | Unterstützt Diffusions- und Oxidationsprozesse |
| Optische Transmission | Hoch von UV bis IR | Geeignet für optische Mess- und Sichtfenster |
Typische Anwendungen
- Quarzglasrohre für Waferdiffusion und Oxidation
- Waferboote und Carrier für Batch-Wärmebehandlung
- Quarzglasringe, Dome und Kammern für Ätz- und Plasmasysteme
- Nassprozess-Tanks, Spülstationen und säurebeständige Bauteile
- Sichtfenster und optische Bauteile für Inspektion und Messtechnik
- Kundenspezifische Quarzglasstrukturen für Halbleiter-, Solar- und LED-Prozesse
Fertigungsmöglichkeiten
Wir kombinieren CNC-Schleifen, Präzisionsschneiden, Feuerpolieren, Wasserstoff-Sauerstoff-Schweißen, Tempern und Reinigungsprozesse, um komplexe Quarzglasgeometrien herzustellen. Wandstärke, Ebenheit, Konzentrizität und Oberflächenqualität werden nach Zeichnungsvorgaben und Anlagen-Schnittstellen kontrolliert.
Typische Möglichkeiten umfassen:
- Zuschnitt und Kantenbearbeitung großformatiger Quarzglasrohre
- Bearbeitung von Quarzglasplatten, Scheiben, Ringen und Flanschen
- Geschweißte Baugruppen mit Griffen, Haltern und Anschlüssen
- Mikro-Feuerpolieren zur Reduzierung von Partikeln
- Reinstwasserreinigung und Reinraumverpackung
Konstruktionshinweise
Quarzglas ist sehr beständig gegen Temperaturwechsel, kann jedoch empfindlich auf lokale mechanische Spannungen und scharfe Kanten reagieren. Die Ingenieure von Tuguan prüfen Radien, Spannungsentlastung, Wandstärkenübergänge und Haltestrukturen, um das Bruchrisiko im Betrieb zu senken.
Wenn Bauteile Plasma, HF-Dampf oder wiederholten Temperaturzyklen ausgesetzt sind, sollten erwartete Lebensdauer, zulässige Oberflächenveränderungen und Reinigungsintervalle bereits in der Konstruktionsphase berücksichtigt werden.
Qualitätskontrolle
Quarzglas-Bauteile werden vor dem Versand auf Maße, Oberfläche, Spannungen und Reinigungszustand geprüft. Auf Anfrage liefern wir Maßprüfberichte, Materialzertifikate, Oberflächenprotokolle und Verpackungsspezifikationen.
Für kontaminationsempfindliche Prozesse bieten wir spezielle Reinigungsabläufe mit minimiertem Metallkontakt und doppelte Verpackung an.
Zusammenarbeit mit Tuguan
Wenn Sie ein neues Quarzglas-Bauteil entwickeln oder ein bestehendes Verbrauchsteil ersetzen möchten, senden Sie uns bitte Zeichnungen, Muster oder Informationen zur Anlagen-Schnittstelle. Wir prüfen Materialqualität, Toleranzen, Oberflächenanforderungen und Verpackung, um eine serienfähige Lösung vorzuschlagen.