半導体プロセス別

拡散・酸化

ドーパント拡散、熱酸化、高温アニール向けの石英部品です。1100°C 超でも高純度と寸法安定性が求められる工程に適しています。

関連部品

プロセスチューブ、ウェーハボート、フランジ

7 件

溶融石英チューブ・ライナー

半導体炉向け高純度溶融石英の拡散・酸化チューブ。4〜12インチウェーハ工程向けにストレート、フランジ付き、ベルエンド構成へ対応。

溶融石英ボート・キャリア

水平・垂直拡散炉向けの精密加工溶融石英ウェーハボート。4〜12インチウェーハ向けに25スロット標準およびカスタムスロット数に対応。

溶融石英リング・フランジ

半導体ガスラインと炉管アセンブリ向けの精密加工石英フランジ、レデューサー、エルボ、チューブ継手。標準金属フランジとの接続にも対応。

溶融石英カスタム部品

CVD、ALD、拡散炉システムで均一なガス分布を実現する多孔石英ガスインジェクターとシャワーヘッド。穴位置精度±0.02 mmまで対応。

溶融石英プレート・窓

半導体炉管、拡散装置、CVDリアクター向けのカスタム加工された溶融石英バッフル、ライナー、熱シールド。

アルミナ (Al₂O₃) ボート・キャリア

高温半導体プロセス向けの高純度アルミナおよび炭化ケイ素ウェーハキャリア、ボート、カセット。優れた耐摩耗性と耐熱衝撃性を備えています。

溶融石英カスタム部品

溶融石英、サファイア、技術セラミックスの図面ベースのカスタム製作。試作から量産まで、形状・仕様に合わせて対応します。