按半导体工序
用于掺杂扩散、热氧化和高温退火产线的高温石英部件，适合对纯度和 1100°C 以上尺寸稳定性要求严苛的场景。
工艺管、晶圆舟、法兰
7 个结果
用于半导体扩散炉的高纯熔融石英扩散氧化管——提供直管、法兰管和铃口管配置，适用于4英寸至12英寸晶圆工艺。
精密加工熔融石英晶舟，适用于卧式和立式扩散炉——标准25槽及定制槽数，兼容4英寸至12英寸晶圆。
精密加工的熔融石英法兰、变径接头、弯头和管接头，适用于半导体气路和炉管组件——兼容标准金属法兰接口。
精密多孔石英气体注入器和喷淋头，用于CVD、ALD和扩散炉系统中的均匀气体分布——孔阵列位置精度达±0.02 mm。
定制加工的熔融石英挡板、内衬和隔热屏，适用于半导体炉管、扩散系统和CVD反应器。
用于高温半导体工艺的高纯氧化铝和碳化硅晶圆载具、晶舟和卡匣——具有优异的耐磨性和抗热震能力。
基于图纸的熔融石英、蓝宝石和工程陶瓷定制加工——从原型到量产，任意几何形状，任意规格。
