Schmelzquarz
Quarzglas-Waferboat
Präzisionsbearbeitete Waferboats aus Quarzglas für horizontale und vertikale Diffusionsöfen, mit 25-Slot-Standard und kundenspezifischer Slotanzahl für 4- bis 12-Zoll-Wafer.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Slot Pitch Tolerance | Reviewed by drawing |
| Slot Width Tolerance | Reviewed by drawing |
| Slot Parallelism | Reviewed by drawing |
| Wafer Seating Angle | Reviewed by wafer handling requirement |
| Max Use Temperature | 1200°C continuous |
Quarzglas-Waferboat
Quarzglas-Waferboat
Waferboats aus Quarzglas halten Wafer in Diffusion, Oxidation, Tempern und LPCVD in definiertem Abstand. Sie eignen sich für Ofenprozesse mit hohen Anforderungen an Temperaturstabilität und geringe Kontamination.
Fertigung und Qualität
Slotpitch, Slotbreite, Parallelität und Waferauflagewinkel werden kontrolliert. Die Kompatibilität mit Ofenhandling und vorhandenen Vorrichtungen kann geprüft werden.
Angaben für die Anfrage
Bitte teilen Sie Wafergröße, Slotanzahl, Pitch, Ofentyp, Endform und gewünschte Menge mit.
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