Schmelzquarz
Quarzglas-Waferboat
Präzisionsbearbeitete Waferboats aus Quarzglas für horizontale und vertikale Diffusionsöfen, mit 25-Slot-Standard und kundenspezifischer Slotanzahl für 4- bis 12-Zoll-Wafer.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Slot Pitch Tolerance | ±0.1 mm |
| Slot Width Tolerance | ±0.05 mm |
| Slot Parallelism | < 0.1 mm |
| Wafer Seating Angle | 88° ± 0.5° (near-vertical) |
| Max Use Temperature | 1200°C continuous |
Quarzglas-Waferboat
Waferboats aus Quarzglas halten Wafer in Diffusion, Oxidation, Tempern und LPCVD in definiertem Abstand. Sie eignen sich für Ofenprozesse mit hohen Anforderungen an Temperaturstabilität und geringe Kontamination.
Fertigung und Qualität
Slotpitch, Slotbreite, Parallelität und Waferauflagewinkel werden kontrolliert. Die Kompatibilität mit Ofenhandling und vorhandenen Vorrichtungen kann geprüft werden.
Angaben für die Anfrage
Bitte teilen Sie Wafergröße, Slotanzahl, Pitch, Ofentyp, Endform und gewünschte Menge mit.
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