Schmelzquarz
Quarzglas-Gasinjektor und Showerhead
Präzise Mehrloch-Gasinjektoren und Showerheads aus Quarzglas für gleichmäßige Gasverteilung in CVD-, ALD- und Diffusionsofensystemen, mit Lochpositionsgenauigkeit bis ±0.02 mm.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 |
| Min Hole Diameter | 0.3 mm |
| Hole Position Accuracy | ±0.02 mm |
| Hole Diameter Uniformity | ±0.01 mm |
| Max Hole Count | 2,000+ per piece |
| He Leak Rate (Assemblies) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
Quarzglas-Gasinjektor und Showerhead
Gasinjektoren aus Quarzglas verteilen Reaktionsgase gleichmäßig und verbessern die Wiederholbarkeit von Abscheide- und Wärmeprozessen. Mehrlochfelder, Schlitze und Seitenports werden nach Anlagenlayout gefertigt.
Fertigung und Qualität
CNC-Bohren, Ultraschallbearbeitung, Schweißen und Reinigung werden kombiniert, um Lochdurchmesser, Positionsgenauigkeit, Felduniformität und Leckleistung zu kontrollieren.
Angaben für die Anfrage
Bitte teilen Sie Lochdurchmesser, Lochzahl, Pitch, Gasfluss, Anschlussart und Zeichnung oder Muster mit.
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