Schmelzquarz
Quarzglas-Baffle und Einsatz
Kundenspezifisch bearbeitete Quarzglas-Baffles, Liner und Wärmeschilde für Halbleiter-Ofenrohre, Diffusionssysteme und CVD-Reaktoren.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Opaque Grade 3 |
| OD/ID Tolerance | ±0.3 mm |
| Length Tolerance | ±1 mm |
| Flatness (Disc Baffles) | < 0.1 mm |
| Max Diameter | 400 mm |
| Max Temperature | 1200°C (transparent) / 1100°C (opaque) |
Quarzglas-Baffle und Einsatz
Quarzglas-Baffles steuern Gasfluss, Wärmeverteilung und Partikelbewegung im Ofenrohr. Transparentes oder opakes Quarzglas wird passend zu Rohrdurchmesser, Halterung und Prozessumgebung ausgewählt.
Fertigung und Qualität
Außen- und Innendurchmesser, Länge, Ebenheit und Kantenbearbeitung werden nach Zeichnung geprüft. Wir unterstützen auch bei Geometrien, die Spannungsspitzen und Bruchrisiken im Hochtemperatureinsatz reduzieren.
Angaben für die Anfrage
Bitte teilen Sie Rohrmaße, Befestigung, Temperatur, Gasatmosphäre und benötigte Menge mit.
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