Schmelzquarz
Quarzglas-Flansche und Fittings
Präzisionsbearbeitete Quarzglasflansche, Reduzierstücke, Bögen und Rohrfittings für Halbleiter-Gasleitungen und Ofenrohrbaugruppen, kompatibel mit Standard-Metallflansch-Schnittstellen.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 |
| Flange Face Flatness | < 0.05 mm |
| OD/Bore Tolerance | ±0.1 mm |
| He Leak Rate (Assembled) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Max OD | 400 mm |
| Perpendicularity (Flange to Bore) | < 0.1 mm |
Quarzglas-Flansche und Fittings
Quarzglasflansche und Fittings verbinden Ofenrohre, Reaktorrohre, Gasleitungen und Nassprozesskomponenten. Sie werden als monolithisch bearbeitete oder geschweißte Quarzstrukturen passend zur Anlagen-Schnittstelle gefertigt.
Fertigung und Qualität
Flanschflächenebenheit, Außen- und Innendurchmesser, Rechtwinkligkeit und Dichtheit geschweißter Bereiche werden geprüft. Kombinationen mit Metallflanschen, O-Ringen und Klemmsystemen können berücksichtigt werden.
Angaben für die Anfrage
Bitte senden Sie Anschlussstandard, Außen- und Innendurchmesser, Dichtkonzept, Gegenbauteilmaße und Leckanforderung.
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