용융 석영
석영 벨자 및 돔
CVD, 에피택시, 스퍼터링 반응기 인클로저용 성형 용융 석영 벨자와 돔입니다. 최대 500 mm 직경과 기밀 용접 플랜지를 지원합니다.
Material: Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 Max Diameter: Reviewed by drawing and forming route Wall Thickness Uniformity: Specified per drawing He Leak Rate: Leak testing reviewed when specified
맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.
기술 사양
| 항목 | 값 |
|---|---|
| Material | Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Max Diameter | Reviewed by drawing and forming route |
| Wall Thickness Uniformity | Specified per drawing |
| He Leak Rate | Leak testing reviewed when specified |
| Flange Flatness | Specified per sealing requirement |
| Bubble Class | Visual quality reviewed by application |
석영 벨자 및 돔
석영 벨자 및 돔
석영 벨자와 돔은 반응 공간을 청정하게 유지하면서 고온, 플라즈마, 진공 환경을 견디는 투명 챔버 부품입니다. CVD, 에피택시, 스퍼터링 장비에 사용됩니다.
제조 및 품질
화염 성형, 용융 용접, 어닐링을 조합해 벽 두께 균일도, 플랜지 평탄도, 기밀성을 관리합니다. 진공 용도에는 헬륨 누설 시험을 적용할 수 있습니다.
문의 시 필요한 정보
외경, 높이, 플랜지 형상, 포트 위치, 진공 요구사항, 사용 온도를 공유해 주십시오.
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