용융 석영

석영 벨자 및 돔

Name: 석영 벨자 및 돔
Brand: Tuguan Semiconductor

CVD, 에피택시, 스퍼터링 반응기 인클로저용 성형 용융 석영 벨자와 돔입니다. 최대 500 mm 직경과 기밀 용접 플랜지를 지원합니다.

Material: Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 Max Diameter: 500 mm Wall Thickness Uniformity: ±15% of nominal He Leak Rate: < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.

기술 사양

항목	값
Material	Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2
Max Diameter	500 mm
Wall Thickness Uniformity	±15% of nominal
He Leak Rate	< 1×10⁻⁹ mbar·L/s
Flange Flatness	< 0.05 mm
Bubble Class	Grade A (no inclusions > 0.5 mm)

석영 벨자와 돔은 반응 공간을 청정하게 유지하면서 고온, 플라즈마, 진공 환경을 견디는 투명 챔버 부품입니다. CVD, 에피택시, 스퍼터링 장비에 사용됩니다.

화염 성형, 용융 용접, 어닐링을 조합해 벽 두께 균일도, 플랜지 평탄도, 기밀성을 관리합니다. 진공 용도에는 헬륨 누설 시험을 적용할 수 있습니다.

외경, 높이, 플랜지 형상, 포트 위치, 진공 요구사항, 사용 온도를 공유해 주십시오.

반도체 퍼니스용 고순도 용융 석영 확산 및 산화 튜브입니다. 4~12인치 웨이퍼 공정용 직관, 플랜지형, 벨엔드 구성을 지원합니다.

반도체 가스 라인과 퍼니스 튜브 조립용 정밀 가공 석영 플랜지, 리듀서, 엘보, 튜브 피팅입니다. 표준 금속 플랜지 인터페이스와 호환 가능합니다.

반도체 공정 챔버 모니터링용 광학 폴리싱 석영 및 사파이어 뷰포트 윈도우입니다. UV부터 중적외선까지 투과하며 금속 또는 CF 플랜지 기밀 구조를 지원합니다.

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