Cuarzo fundido
Campana y domo de cuarzo
Campanas y domos de cuarzo fundido soplados y formados para reactores CVD, epitaxia y sputtering, hasta 500 mm de diámetro con bridas soldadas herméticas.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Material | Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Max Diameter | 500 mm |
| Wall Thickness Uniformity | ±15% of nominal |
| He Leak Rate | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Flange Flatness | < 0.05 mm |
| Bubble Class | Grade A (no inclusions > 0.5 mm) |
Campana y domo de cuarzo
Las campanas y domos de cuarzo forman envolventes transparentes y limpias para procesos de alta temperatura, plasma y vacío. Se utilizan en equipos CVD, epitaxia y sputtering.
Fabricación y calidad
Combinamos conformado a llama, soldadura por fusión y recocido para controlar uniformidad de pared, planitud de brida y hermeticidad. Para aplicaciones de vacío podemos realizar prueba de fuga con helio.
Información para cotizar
Comparta diámetro exterior, altura, forma de brida, ubicación de puertos, requisito de vacío y temperatura de uso.
Productos Relacionados
Tubo de difusión de cuarzo
Tubos de difusión y oxidación de cuarzo fundido de alta pureza para hornos semiconductores, en configuraciones rectas, con brida o extremo campana para procesos de obleas de 4 a 12 pulgadas.
Bridas y accesorios de cuarzo
Bridas, reductores, codos y accesorios de tubo en cuarzo fundido mecanizados con precisión para líneas de gas y ensambles de tubo de horno, compatibles con interfaces estándar de bridas metálicas.
Ventana viewport de cuarzo
Ventanas viewport de cuarzo fundido y zafiro con pulido óptico para monitoreo de cámaras de proceso semiconductor, con transmisión UV a IR medio y bridas herméticas metálicas o CF.
¿Listo para pedir o necesita un tamaño personalizado?
Envíe su plano o especificaciones — respondemos en 24 horas.