Cuarzo fundido
Campana y domo de cuarzo
Campanas y domos de cuarzo fundido soplados y formados para reactores CVD, epitaxia y sputtering, hasta 500 mm de diámetro con bridas soldadas herméticas.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Material | Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Max Diameter | Reviewed by drawing and forming route |
| Wall Thickness Uniformity | Specified per drawing |
| He Leak Rate | Leak testing reviewed when specified |
| Flange Flatness | Specified per sealing requirement |
| Bubble Class | Visual quality reviewed by application |
Campana y domo de cuarzo
Campana y domo de cuarzo
Las campanas y domos de cuarzo forman envolventes transparentes y limpias para procesos de alta temperatura, plasma y vacío. Se utilizan en equipos CVD, epitaxia y sputtering.
Fabricación y calidad
Combinamos conformado a llama, soldadura por fusión y recocido para controlar uniformidad de pared, planitud de brida y hermeticidad. Para aplicaciones de vacío podemos realizar prueba de fuga con helio.
Información para cotizar
Comparta diámetro exterior, altura, forma de brida, ubicación de puertos, requisito de vacío y temperatura de uso.
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