溶融石英

石英ベルジャー・ドーム

Name: 石英ベルジャー・ドーム
Brand: Tuguan Semiconductor

CVD、エピタキシー、スパッタリングリアクター筐体向けの成形溶融石英ベルジャーとドーム。最大500 mm径、気密溶接フランジに対応。

Material: Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 Max Diameter: 500 mm Wall Thickness Uniformity: ±15% of nominal He Leak Rate: < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。

技術仕様

項目	値
Material	Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2
Max Diameter	500 mm
Wall Thickness Uniformity	±15% of nominal
He Leak Rate	< 1×10⁻⁹ mbar·L/s
Flange Flatness	< 0.05 mm
Bubble Class	Grade A (no inclusions > 0.5 mm)

石英ベルジャーとドームは、反応空間を清浄に保ちながら高温・プラズマ・真空環境に耐えるための透明チャンバー部品です。CVD、エピタキシー、スパッタリング装置に使用されます。

火炎成形、溶融溶接、アニールを組み合わせ、壁厚均一性、フランジ平面度、気密性を管理します。真空用途ではヘリウムリーク試験にも対応します。

外径、高さ、フランジ形状、ポート位置、真空要求、使用温度を共有してください。

半導体炉向け高純度溶融石英の拡散・酸化チューブ。4〜12インチウェーハ工程向けにストレート、フランジ付き、ベルエンド構成へ対応。

半導体ガスラインと炉管アセンブリ向けの精密加工石英フランジ、レデューサー、エルボ、チューブ継手。標準金属フランジとの接続にも対応。

半導体プロセスチャンバー監視向けの光学研磨石英およびサファイア窓。UVから中赤外までの透過、金属またはCFフランジ気密構造に対応。

図面や仕様をお送りください — 24時間以内にご回答します。