溶融石英
石英ベルジャー・ドーム
CVD、エピタキシー、スパッタリングリアクター筐体向けの成形溶融石英ベルジャーとドーム。最大500 mm径、気密溶接フランジに対応。
Material: Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 Max Diameter: Reviewed by drawing and forming route Wall Thickness Uniformity: Specified per drawing He Leak Rate: Leak testing reviewed when specified
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Material | Transparent fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Max Diameter | Reviewed by drawing and forming route |
| Wall Thickness Uniformity | Specified per drawing |
| He Leak Rate | Leak testing reviewed when specified |
| Flange Flatness | Specified per sealing requirement |
| Bubble Class | Visual quality reviewed by application |
石英ベルジャー・ドーム
石英ベルジャー・ドーム
石英ベルジャーとドームは、反応空間を清浄に保ちながら高温・プラズマ・真空環境に耐えるための透明チャンバー部品です。CVD、エピタキシー、スパッタリング装置に使用されます。
製造と品質
火炎成形、溶融溶接、アニールを組み合わせ、壁厚均一性、フランジ平面度、気密性を管理します。真空用途ではヘリウムリーク試験にも対応します。
お問い合わせ時の情報
外径、高さ、フランジ形状、ポート位置、真空要求、使用温度を共有してください。
