熔融石英
石英钟罩与穹顶
吹制成型熔融石英钟罩和穹顶，用于CVD、外延和溅射反应腔体封罩——直径达500 mm，配气密焊接法兰。
材料: 透明熔融石英一级或二级 最大直径: 500 mm 壁厚均匀性: ±15% 氦检漏率: < 1×10⁻⁹ mbar·L/s
支持按需定制尺寸和规格。
技术规格
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | 透明熔融石英一级或二级 |
| 最大直径 | 500 mm |
| 壁厚均匀性 | ±15% |
| 氦检漏率 | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 法兰面平面度 | < 0.05 mm |
| 气泡等级 | A 级（无 > 0.5 mm 夹杂） |
石英钟罩与穹顶
钟罩和穹顶为CVD、外延及PVD系统提供主反应腔体封罩。石英封罩须透过加热灯的辐射能量，承受工艺加热产生的循环热应力，并维持真空级气密性。
产品配置
标准钟罩
圆柱体带半球形或平底封闭顶部，底部开口带法兰用于安装至基板。
| 尺寸 | 标准范围 | 定制 |
|---|---|---|
| 外径 | 100–500 mm | 至600 mm |
| 高度 | 100–800 mm | 按图纸 |
| 壁厚 | 3–8 mm | 按图纸 |
| 法兰外径 | 外径 + 30–50 mm | 按图纸 |
反应器穹顶（低矮型）
适用于RTP（快速热处理）和单片反应器的浅穹型——最小化内部体积以加快吹扫和抽真空速度。
| 直径 | 穹高 | 壁厚 | 应用 |
|---|---|---|---|
| 200–250 mm | 50–80 mm | 3–5 mm | 8英寸晶圆RTP |
| 300–350 mm | 60–100 mm | 4–6 mm | 12英寸晶圆RTP |
| 定制 | 按规格 | 按规格 | CVD/外延 |
制造工艺
钟罩的制造流程：
- 坯料准备 — 圆柱石英管或吹制预制件加工至近净形
- 火焰成型 — 穹形/半球形封顶通过精密氢氧焰热加工成型
- 法兰连接 — 精密机加工法兰熔接焊接至开口端
- 退火处理 — 组件整体退火消除热应力；偏振光双折射验证 < 10 nm/cm
- 精整加工 — 法兰面磨削至平面度 < 0.05 mm；外/内径磨削至公差
- 氦检漏 — 所有焊缝100%检测（< 1×10⁻⁹ mbar·L/s）
质量检验
- 高强度照明下目视检查（气泡、条纹、夹杂物测绘）
- 所有焊缝氦质谱仪检漏
- 法兰平面度三坐标测量机验证
- 12点超声波壁厚测量
- 偏振光双折射测量
