용융 석영
석영 가스 인젝터 및 샤워헤드
CVD, ALD, 확산 퍼니스 시스템에서 균일한 가스 분포를 구현하는 다공 석영 가스 인젝터와 샤워헤드입니다. 홀 배열 위치 정확도 ±0.02 mm까지 지원합니다.
Material: Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 Min Hole Diameter: Reviewed by wall thickness and geometry Hole Position Accuracy: Reviewed from CAD pattern Hole Diameter Uniformity: Specified per drawing
맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.
기술 사양
| 항목 | 값 |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 |
| Min Hole Diameter | Reviewed by wall thickness and geometry |
| Hole Position Accuracy | Reviewed from CAD pattern |
| Hole Diameter Uniformity | Specified per drawing |
| Max Hole Count | Reviewed by part size and inspection scope |
| He Leak Rate (Assemblies) | Leak testing reviewed when specified |
석영 가스 인젝터 및 샤워헤드
석영 가스 인젝터 및 샤워헤드
석영 가스 인젝터는 반응 가스를 균일하게 분배해 증착과 열공정의 재현성을 높이는 부품입니다. 다공 배열, 슬롯, 사이드 포트 등을 장비 설계에 맞춰 가공합니다.
제조 및 품질
CNC 드릴링, 초음파 가공, 용접, 세정을 조합해 홀 직경, 위치 정확도, 배열 균일도, 누설 성능을 관리합니다.
문의 시 필요한 정보
홀 직경, 홀 수, 피치, 가스 유량, 연결 방식, 도면 또는 기존 샘플을 공유해 주십시오.
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