Cuarzo fundido
Inyector de gas y showerhead de cuarzo
Inyectores de gas y showerheads de cuarzo con múltiples orificios para distribución uniforme de gas en sistemas CVD, ALD y hornos de difusión, con matrices de orificios hasta ±0.02 mm de precisión posicional.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 |
| Min Hole Diameter | Reviewed by wall thickness and geometry |
| Hole Position Accuracy | Reviewed from CAD pattern |
| Hole Diameter Uniformity | Specified per drawing |
| Max Hole Count | Reviewed by part size and inspection scope |
| He Leak Rate (Assemblies) | Leak testing reviewed when specified |
Inyector de gas y showerhead de cuarzo
Inyector de gas y showerhead de cuarzo
Los inyectores de cuarzo distribuyen gases de reacción de forma uniforme y ayudan a mejorar la repetibilidad de deposición y procesos térmicos. Podemos mecanizar matrices de orificios, ranuras y puertos laterales según el diseño del equipo.
Fabricación y calidad
Combinamos taladrado CNC, mecanizado ultrasónico, soldadura y limpieza para controlar diámetro, posición, uniformidad de matriz y desempeño de fuga.
Información para cotizar
Indique diámetro de orificio, número de orificios, paso, flujo de gas, conexión y plano o muestra existente.
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