溶融石英
石英ガスインジェクター・シャワーヘッド
CVD、ALD、拡散炉システムで均一なガス分布を実現する多孔石英ガスインジェクターとシャワーヘッド。穴位置精度±0.02 mmまで対応。
Material: Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 Min Hole Diameter: 0.3 mm Hole Position Accuracy: ±0.02 mm Hole Diameter Uniformity: ±0.01 mm
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 |
| Min Hole Diameter | 0.3 mm |
| Hole Position Accuracy | ±0.02 mm |
| Hole Diameter Uniformity | ±0.01 mm |
| Max Hole Count | 2,000+ per piece |
| He Leak Rate (Assemblies) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
石英ガスインジェクター・シャワーヘッド
石英ガスインジェクターは、反応ガスを均一に分配し、成膜や熱処理の再現性を高めるための部品です。多孔配列、スロット、サイドポートなどを装置設計に合わせて加工します。
製造と品質
CNC穴あけ、超音波加工、溶接、洗浄を組み合わせ、穴径、位置精度、配列均一性、リーク性能を管理します。
お問い合わせ時の情報
穴径、穴数、ピッチ、ガス流量、接続方式、図面または旧品サンプルを共有してください。
