アルミナ (Al₂O₃)
セラミックウェーハキャリア・ボート
高温半導体プロセス向けの高純度アルミナおよび炭化ケイ素ウェーハキャリア、ボート、カセット。優れた耐摩耗性と耐熱衝撃性を備えています。
Materials Available: Al₂O₃ 99.5% / Al₂O₃ 99.9% / SiC (reaction-bonded) Max Use Temperature: 1600°C (Al₂O₃) / 1380°C (RB-SiC) Slot Pitch Tolerance: ±0.1 mm Slot Width Tolerance: ±0.05 mm
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Materials Available | Al₂O₃ 99.5% / Al₂O₃ 99.9% / SiC (reaction-bonded) |
| Max Use Temperature | 1600°C (Al₂O₃) / 1380°C (RB-SiC) |
| Slot Pitch Tolerance | ±0.1 mm |
| Slot Width Tolerance | ±0.05 mm |
| Flatness (Carrier Plate) | < 0.1 mm |
| Thermal Shock Resistance | ΔT > 200°C (Al₂O₃) / ΔT > 400°C (SiC) |
セラミックウェーハキャリア・ボート
アルミナおよびSiCキャリアは、高温処理、拡散、酸化、RTP工程でウェーハを安定して保持するために使用されます。石英より高い剛性、耐摩耗性、耐熱衝撃性が必要なラインに適しています。
製造と品質
スロットピッチ、座面角度、平面度、表面状態を図面に合わせて管理します。用途に応じてアルミナ純度、SiCグレード、洗浄、包装仕様を選定できます。
お問い合わせ時の情報
ウェーハサイズ、スロット数、ピッチ、使用温度、装置インターフェース、希望数量をお知らせください。
