太陽電池製造向け石英・セラミック部品
太陽電池製造は半導体前工程と多くの装置構成を共有しますが、処理量が大きく、部品消耗とコスト感度がより高いのが特徴です。そのため、耐久性、交換性、量産供給能力が重要になります。
主な工程
P/N 接合拡散（POCl₃ / BBr₃）
| 部品 | 材料 | 太陽電池向けポイント |
|---|
| 拡散管 | 天然溶融石英 Grade 1 | 高スループット、頻繁な温度サイクル |
| ボート | 溶融石英 Grade 1 | 156 / 210 mm ウェーハ、多スロット |
| ソース管 | 溶融石英 Grade 1 | POCl₃ 蒸気への耐性 |
| パドル / フォーク | 溶融石英 Grade 1 | 大判ウェーハ搬送 |
PECVD（SiNₓ 反射防止膜）
| 部品 | 材料 | 要件 |
|---|
| 電極板 | 溶融石英 Grade 1 | プラズマ透過、低汚染 |
| ガス分配板 | 溶融石英 Grade 1 | 均一孔配列 ±0.02 mm |
| チャンバーライナー | 溶融石英 Grade 1 | 金属壁への膜付着抑制 |
電極焼成
| 部品 | 材料 | 要件 |
|---|
| マッフルチューブ | 溶融石英 Grade 1 | 熱サイクル耐性、長寿命 |
| ラジアントチューブ | 溶融石英 Grade 1 | 均一な赤外放射 |
| 搬送支持材 | アルミナ 99.5% または SiC | 高頻度熱衝撃への耐性 |
テクスチャリング
| 部品 | 材料 | 薬液 |
|---|
| テクスチャ槽 | 溶融石英 Grade 1 | KOH / NaOH または HF / HNO₃ |
| リンス槽 | 溶融石英 Grade 1 | 純水 |
| オーバーフロー部 | 溶融石英 Grade 1 | カスケード洗浄 |
大量供給への対応
- 定常消費向けの包括契約・在庫引当対応
- 標準ボート、チューブは短納期で補給
- 自動搬送設備に合わせた寸法の再現性確保
- 大量交換部品に対応する量産加工体制
