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技術ブログ

半導体プロセス技術者と調達チーム向けの技術ガイド、材料知見、業界情報。

溶融石英と合成溶融シリカの違いとは?

溶融石英と合成溶融シリカの違いとは?

どちらもSiO2系のアモルファス材料ですが、天然溶融石英と合成溶融シリカでは純度、光学品質、コストが大きく異なります。違いと使い分けを整理します。

拡散炉システム向け石英部品 完全ガイド

拡散炉システム向け石英部品 完全ガイド

横型拡散炉で使用される石英部品を網羅的に解説。炉管、ボート、バッフル、フランジ、インジェクターごとの材質要件、寸法仕様、交換目安を整理しました。