溶融石英

石英ウェーハボート

Name: 石英ウェーハボート
Brand: Tuguan Semiconductor

水平・垂直拡散炉向けの精密加工溶融石英ウェーハボート。4〜12インチウェーハ向けに25スロット標準およびカスタムスロット数に対応。

Material: Fused quartz Grade 1 or Grade 2 Slot Pitch Tolerance: ±0.1 mm Slot Width Tolerance: ±0.05 mm Slot Parallelism: < 0.1 mm

ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。

技術仕様

石英ウェーハボートは、拡散、酸化、アニール、LPCVD工程でウェーハを一定間隔で保持する高純度キャリアです。温度安定性と低汚染性が求められる炉工程に適しています。

スロットピッチ、スロット幅、平行度、ウェーハ座面角度を管理し、炉内搬送や治具との互換性を確認します。

ウェーハサイズ、スロット数、ピッチ、炉タイプ、端部形状、希望数量を共有してください。

半導体炉向け高純度溶融石英の拡散・酸化チューブ。4〜12インチウェーハ工程向けにストレート、フランジ付き、ベルエンド構成へ対応。

半導体炉管、拡散装置、CVDリアクター向けのカスタム加工された溶融石英バッフル、ライナー、熱シールド。

高温半導体プロセス向けの高純度アルミナおよび炭化ケイ素ウェーハキャリア、ボート、カセット。優れた耐摩耗性と耐熱衝撃性を備えています。

図面や仕様をお送りください — 24時間以内にご回答します。