製品カタログ
製品
半導体および先進製造プロセス向け精密石英・サファイア・セラミック部品。
コンポーネントタイプ別
コンポーネントタイプ別
チューブ・ライナー
プロセスチューブ、炉心管、リアクターチューブ
ボート・キャリア
ウェーハボート、キャリア、ボートラック
リング・フランジ
フォーカスリング、シールフランジ、位置決めリング
プレート・窓
観察窓、バッフル、ディスク
チャンバー・ベルジャー
リアクションチャンバー、ベルジャー、ドーム
カスタム部品
図面ベースの加工
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13 件
石英拡散チューブ
半導体炉向け高純度溶融石英の拡散・酸化チューブ。4〜12インチウェーハ工程向けにストレート、フランジ付き、ベルエンド構成へ対応。
石英ウェーハボート
水平・垂直拡散炉向けの精密加工溶融石英ウェーハボート。4〜12インチウェーハ向けに25スロット標準およびカスタムスロット数に対応。
石英フランジ・継手
半導体ガスラインと炉管アセンブリ向けの精密加工石英フランジ、レデューサー、エルボ、チューブ継手。標準金属フランジとの接続にも対応。
石英フォーカスリング・エッチリング
プラズマエッチングおよびCVDチャンバー向けの精密加工石英フォーカスリング、エッチリング、エッジリング。±0.01 mm公差、Ra 0.1 μm仕上げに対応。
石英ベルジャー・ドーム
CVD、エピタキシー、スパッタリングリアクター筐体向けの成形溶融石英ベルジャーとドーム。最大500 mm径、気密溶接フランジに対応。
石英洗浄槽
HF、SC-1、SC-2、ピラニア洗浄などの半導体湿式洗浄工程向け溶接石英槽。単槽・カスケード構成、カスタムサイズに対応。
石英ガスインジェクター・シャワーヘッド
CVD、ALD、拡散炉システムで均一なガス分布を実現する多孔石英ガスインジェクターとシャワーヘッド。穴位置精度±0.02 mmまで対応。
石英リアクターチューブ
エピタキシー、CVD、RTPシステム向け高純度溶融石英リアクターチューブ。研磨内面、サイドポート、精密研削フランジに対応。
石英ビューポート窓
半導体プロセスチャンバー監視向けの光学研磨石英およびサファイア窓。UVから中赤外までの透過、金属またはCFフランジ気密構造に対応。
石英バッフル・インサート
半導体炉管、拡散装置、CVDリアクター向けのカスタム加工された溶融石英バッフル、ライナー、熱シールド。
サファイア窓・オプティカルフラット
半導体プロセスチャンバー向け単結晶サファイア窓とオプティカルフラット。UVから中赤外までの透過、Ra < 0.1 nm、優れたプラズマ・耐薬品性。
セラミックウェーハキャリア・ボート
高温半導体プロセス向けの高純度アルミナおよび炭化ケイ素ウェーハキャリア、ボート、カセット。優れた耐摩耗性と耐熱衝撃性を備えています。
カスタム精密部品
溶融石英、サファイア、技術セラミックスの図面ベースのカスタム製作。試作から量産まで、形状・仕様に合わせて対応します。