溶融石英
石英フランジ・継手
半導体ガスラインと炉管アセンブリ向けの精密加工石英フランジ、レデューサー、エルボ、チューブ継手。標準金属フランジとの接続にも対応。
Material: Fused quartz Grade 1 Flange Face Flatness: < 0.05 mm OD/Bore Tolerance: ±0.1 mm He Leak Rate (Assembled): < 1×10⁻⁹ mbar·L/s
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 |
| Flange Face Flatness | < 0.05 mm |
| OD/Bore Tolerance | ±0.1 mm |
| He Leak Rate (Assembled) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Max OD | 400 mm |
| Perpendicularity (Flange to Bore) | < 0.1 mm |
石英フランジ・継手
石英フランジと継手は、炉管、リアクターチューブ、ガスライン、湿式プロセス部品の接続に使用されます。高純度石英の一体加工または溶接構造で、装置インターフェースに合わせて製作します。
製造と品質
フランジ面平面度、外径、内径、直角度、溶接部気密性を管理します。金属フランジ、Oリング、クランプ構造との組み合わせも検討できます。
お問い合わせ時の情報
接続規格、外径、内径、シール方式、相手部品寸法、リーク要求を共有してください。
