溶融石英

石英バッフル・インサート

Name: 石英バッフル・インサート
Brand: Tuguan Semiconductor

半導体炉管、拡散装置、CVDリアクター向けのカスタム加工された溶融石英バッフル、ライナー、熱シールド。

Material: Fused quartz Grade 1 or Opaque Grade 3 OD/ID Tolerance: ±0.3 mm Length Tolerance: ±1 mm Flatness (Disc Baffles): < 0.1 mm

ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。

技術仕様

項目	値
Material	Fused quartz Grade 1 or Opaque Grade 3
OD/ID Tolerance	±0.3 mm
Length Tolerance	±1 mm
Flatness (Disc Baffles)	< 0.1 mm
Max Diameter	400 mm
Max Temperature	1200°C (transparent) / 1100°C (opaque)

石英バッフルは炉管内のガス流、熱分布、粒子移動を制御するために使用されます。透明石英または不透明石英を選定し、既存装置のチューブ径や支持構造に合わせて加工します。

外径、内径、長さ、平面度、エッジ処理を図面に合わせて管理します。高温工程での割れを抑えるため、応力集中を避けた形状設計も支援します。

チューブ寸法、取り付け方式、使用温度、ガス雰囲気、必要枚数をお知らせください。

半導体炉向け高純度溶融石英の拡散・酸化チューブ。4〜12インチウェーハ工程向けにストレート、フランジ付き、ベルエンド構成へ対応。

水平・垂直拡散炉向けの精密加工溶融石英ウェーハボート。4〜12インチウェーハ向けに25スロット標準およびカスタムスロット数に対応。

CVD、ALD、拡散炉システムで均一なガス分布を実現する多孔石英ガスインジェクターとシャワーヘッド。穴位置精度±0.02 mmまで対応。

図面や仕様をお送りください — 24時間以内にご回答します。