品質保証
認証・品質
当社の品質管理システムは、全ての部品が仕様を満たすよう、完全な文書化とトレーサビリティで支えています。
認証・適合
規格とコンプライアンス
最新版の証明書および宣言書は、見積またはプロジェクト範囲に合わせてご要望に応じて提供します。
ISO 9001:2015
品質マネジメントシステム
発行機関: 認定認証機関
受入検査、工程内寸法管理、最終検証、トレーサビリティ文書化まで、製品ライフサイクル全体を品質管理対象としています。
最新版書類を依頼SEMI 規格適合
半導体装置・材料
発行機関: SEMI International
石英・セラミック部品は、半導体製造装置向けに適用可能なSEMI要件に沿って製造しています。
最新版書類を依頼REACH 適合
化学物質安全規制
発行機関: 欧州化学品庁（ECHA）
当社製品について、SVHCが閾値を超えて含まれていないことを示すREACH宣言を提供します。
最新版書類を依頼
品質プロセス
4段階の品質管理
01
原材料受入検査
石英、サファイア、セラミックの各ロットは生産投入前に純度確認を受けます。
02
工程内寸法管理
作業者が校正済みゲージで定期確認し、重要加工工程ではCMMで検証します。
03
最終品質検査
機能上重要な寸法、表面粗さ、清浄度、外観品質を出荷前に確認します。
04
トレーサビリティと文書化
各注文には、校正済み計測機器に紐づく証明書、検査報告、寸法データを添付します。
検査設備
測定能力
| 設備 | ブランド / 型式 | 測定内容 | 精度 |
|---|---|---|---|
| 三次元測定機（CMM） | Hexagon / Zeiss | 三次元寸法測定 | ±0.001 mm |
| 表面粗さ測定機 | Mitutoyo SJ-410 | Ra / Rz / Rq パラメータ測定 | 分解能 0.001 μm |
| 光学プロファイルプロジェクター | Nikon V-24B | 輪郭 / 形状検査 | ±0.001 mm |
| XRF 分析装置 | Rigaku / Bruker | 元素組成分析 | ppm レベル |
| ICP-OES / ICP-MS | PerkinElmer / Agilent | 微量金属不純物分析 | ppb レベル |
| ヘリウムリークテスター | Pfeiffer Vacuum | 溶接アセンブリの気密性検査 | <1×10⁻⁹ mbar·L/s |