用途
科学研究・研究室
大学、国立研究機関、先端 R&D 向けの高純度溶融石英、サファイア、特殊セラミック部品。
科学研究向け溶融石英と先端セラミックス
研究用途では、商用半導体向けよりさらに高い純度、寸法精度、特殊形状、極限環境での耐久性が求められることがあります。Tuguan Semiconductor は、試作や少量生産にも柔軟に対応します。
代表的な用途
超高真空（UHV）チャンバー
- 150°C ベーク後の低アウトガス
- 溶接体で低 He リーク
- 接着継手を避けた単一材料構成
高温反応管（>1200°C）
| 温度域 | 材料 | 形状例 |
|---|---|---|
| ～1200°C | 溶融石英 Grade 1 | 管、ボート、るつぼ |
| ～1700°C | Al₂O₃ 99.9% | 管、ボート、るつぼ |
| ～2000°C | BN（不活性雰囲気） | るつぼ、ライナー、ノズル |
| ～2200°C | SiC | 管、サセプタ |
結晶成長装置
- シリコン CZ 用石英るつぼ
- 石英 / アルミナ製成長管
- RF 加熱系向け BN / SiC サセプタ
中性子・X線ビームライン
| 部品 | 材料 | 要件 |
|---|---|---|
| 中性子窓 | 合成溶融シリカ | 低捕獲断面積、高純度 |
| X線キャピラリ | 溶融石英 | 薄肉、高透過 |
| サンプルセル | 溶融石英 | 耐薬品性、透明性 |
| 低温窓 | サファイア | 低温赤外透過 |
プラズマ物理装置
- UHV 対応石英ビューポート
- 高純度石英・セラミック絶縁体
- 高出力面向けサファイア窓
試作・少量サービス
- 1〜10 個程度の試作数量に対応
- 図面ベースの複雑形状加工
- 中程度の難度で短納期対応
- 材料選定と設計に関する技術相談
非標準仕様や研究用途特有のご相談も歓迎します。