材料科学
材料
ppbレベル純度の合成溶融石英から単結晶サファイアまで、半導体プロセスに適した材料を選定できます。
材料 01
SiO₂
溶融石英ガラス
天然グレードと合成グレード
優れた熱安定性、紫外透過性、低熱膨張率を持つ非晶質二酸化ケイ素ガラスです。天然溶融石英と高純度合成溶融シリカを提供します。
- SiO₂純度: 99.99–99.9999%
- 熱膨張係数: 0.55 × 10⁻⁶/°C
- 最高使用温度: 1200°C
- UV透過域: 190–3500 nm
材料 02
Al₂O₃
サファイア
単結晶 Al₂O₃
極めて高い硬度、化学的不活性、広帯域の光学透過性を持つ単結晶酸化アルミニウムです。高温ビューポートや光学窓、耐摩耗部品に適しています。
- 硬度: モース9
- 最高使用温度: 1900°C
- 透過域: 0.14–6 μm
- 化学特性: 高い不活性
材料 03
Al₂O₃ · Si₃N₄ · BN · SiC
精密セラミックス
Al₂O₃ · Si₃N₄ · BN · SiC
先端ファインセラミックスは、硬度、熱伝導性、電気絶縁性、耐薬品性を用途に応じて組み合わせられます。4種類の材料グレードに対応しています。
- アルミナ Al₂O₃: 高硬度 + 絶縁性
- 窒化ケイ素 Si₃N₄: 耐熱衝撃性
- 窒化ホウ素 BN: 熱伝導性 + 加工性
- 炭化ケイ素 SiC: 超高硬度 + 導電性
グレード選定
石英ガラスグレード比較
| グレード名 | 対応コード | 純度 | OH含有量 | 最高温度 | 主な用途 |
|---|---|---|---|---|---|
| 天然溶融石英 | GE-124 / KU-1 equivalent | 99.99% SiO₂ | <30 ppm OH | 1150°C continuous / 1400°C short-term | 拡散管 / 炉管 / ウエーハボート |
| 合成溶融シリカ（高純度） | Equivalent to Momentive HPFS / Heraeus Suprasil | >99.9999% SiO₂ | 800–1200 ppm OH (standard) / <1 ppm OH (dry grade) | 1200°C continuous | 半導体湿式エッチング / CVDチャンバー / 高精度光学部品 |
| 不透明溶融石英 | Milky/Translucent Grade | 99.9% SiO₂ | 1100°C | 熱遮蔽部品 / 拡散ボート支持部品 / 断熱部品 |