용융 석영

석영 웨이퍼 보트

Name: 석영 웨이퍼 보트
Brand: Tuguan Semiconductor

수평 및 수직 확산로용 정밀 가공 용융 석영 웨이퍼 보트입니다. 4~12인치 웨이퍼용 25슬롯 표준 및 맞춤 슬롯 수를 지원합니다.

Material: Fused quartz Grade 1 or Grade 2 Slot Pitch Tolerance: ±0.1 mm Slot Width Tolerance: ±0.05 mm Slot Parallelism: < 0.1 mm

맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.

기술 사양

석영 웨이퍼 보트는 확산, 산화, 어닐링, LPCVD 공정에서 웨이퍼를 일정 간격으로 지지하는 고순도 캐리어입니다. 온도 안정성과 낮은 오염이 필요한 퍼니스 공정에 적합합니다.

슬롯 피치, 슬롯 폭, 평행도, 웨이퍼 좌면 각도를 관리하고 퍼니스 이송 장치와의 호환성을 확인합니다.

웨이퍼 크기, 슬롯 수, 피치, 퍼니스 타입, 끝단 형상, 예상 수량을 공유해 주십시오.

반도체 퍼니스용 고순도 용융 석영 확산 및 산화 튜브입니다. 4~12인치 웨이퍼 공정용 직관, 플랜지형, 벨엔드 구성을 지원합니다.

반도체 퍼니스 튜브, 확산 시스템, CVD 반응기용 맞춤 가공 용융 석영 배플, 라이너, 열 차폐 부품입니다.

고온 반도체 공정을 위한 고순도 알루미나 및 실리콘카바이드 웨이퍼 캐리어, 보트, 카세트입니다. 우수한 내마모성과 열충격 저항성을 제공합니다.

도면이나 사양을 제출해 주세요 — 24시간 이내에 응답합니다.