Cuarzo fundido
Barquilla de cuarzo para obleas
Barquillas de obleas de cuarzo fundido mecanizadas con precisión para hornos de difusión horizontales y verticales, con estándar de 25 ranuras y cantidad personalizada para obleas de 4 a 12 pulgadas.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Slot Pitch Tolerance | ±0.1 mm |
| Slot Width Tolerance | ±0.05 mm |
| Slot Parallelism | < 0.1 mm |
| Wafer Seating Angle | 88° ± 0.5° (near-vertical) |
| Max Use Temperature | 1200°C continuous |
Barquilla de cuarzo para obleas
La barquilla de cuarzo sostiene obleas con separación uniforme durante difusión, oxidación, recocido y LPCVD. Es adecuada para procesos de horno que requieren estabilidad térmica y baja contaminación.
Fabricación y calidad
Controlamos paso de ranura, ancho de ranura, paralelismo y ángulo de asiento de oblea. También verificamos compatibilidad con manipulación del horno y utillaje existente.
Información para cotizar
Comparta tamaño de oblea, número de ranuras, paso, tipo de horno, forma de extremo y cantidad prevista.
Productos Relacionados
Tubo de difusión de cuarzo
Tubos de difusión y oxidación de cuarzo fundido de alta pureza para hornos semiconductores, en configuraciones rectas, con brida o extremo campana para procesos de obleas de 4 a 12 pulgadas.
Bafle e inserto de cuarzo
Bafles, liners y escudos térmicos de cuarzo fundido mecanizados a medida para tubos de horno, sistemas de difusión y reactores CVD de semiconductores.
Portador y barquilla cerámica para obleas
Portadores, barquillas y casetes de obleas en alúmina y carburo de silicio de alta pureza para procesos semiconductores de alta temperatura, con excelente resistencia al desgaste y al choque térmico.
¿Listo para pedir o necesita un tamaño personalizado?
Envíe su plano o especificaciones — respondemos en 24 horas.