Schmelzquarz
Quarzglas-Reaktorrohr
Hochreine Quarzglas-Reaktorrohre für Epitaxie-, CVD- und RTP-Systeme, verfügbar mit polierter Innenbohrung, Seitenports und präzisionsgeschliffenen Flanschen.
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Material | Synthetic fused silica Grade 2 (standard) or Grade 1 |
| Inner Surface Finish | Ra ≤ 0.8 μm (standard) / Ra ≤ 0.1 μm (polished) |
| OD Tolerance | ±0.3 mm |
| Wall Thickness Uniformity | ±10% |
| He Leak Rate (All Welds) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Max OD | 400 mm |
Quarzglas-Reaktorrohr
Reaktorrohre aus Quarzglas werden in CVD-, Epitaxie-, ALD- und RTP-Kammern integriert. Gasverteilung, Innenoberfläche und Anschlussgenauigkeit beeinflussen die Prozessstabilität.
Fertigung und Qualität
Innenpolitur, Seitenport-Schweißen, Flanschschleifen und Tempern werden kombiniert, um Maße, Oberfläche und Leckleistung zu kontrollieren.
Angaben für die Anfrage
Bitte nennen Sie Rohrabmessungen, Anzahl und Lage der Ports, Innenrauheit, Flanschspezifikation und Prozessanwendung.
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