Cuarzo fundido
Tubo reactor de cuarzo
Tubos reactores de cuarzo fundido de alta pureza para epitaxia, CVD y RTP, disponibles con interior pulido, puertos laterales y bridas rectificadas de precisión para integración en cámara.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Material | Synthetic fused silica Grade 2 (standard) or Grade 1 |
| Inner Surface Finish | Ra ≤ 0.8 μm (standard) / Ra ≤ 0.1 μm (polished) |
| OD Tolerance | ±0.3 mm |
| Wall Thickness Uniformity | ±10% |
| He Leak Rate (All Welds) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Max OD | 400 mm |
Tubo reactor de cuarzo
El tubo reactor de cuarzo se integra en cámaras CVD, epitaxia, ALD y RTP. La distribución de gas, el acabado interior y la precisión de conexión influyen directamente en la estabilidad del proceso.
Fabricación y calidad
Podemos combinar pulido interior, soldadura de puertos laterales, rectificado de bridas y recocido para controlar dimensiones, superficie y hermeticidad.
Información para cotizar
Indique dimensiones del tubo, número y ubicación de puertos, rugosidad interior, especificación de brida y proceso de uso.
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