溶融石英
石英リアクターチューブ
エピタキシー、CVD、RTPシステム向け高純度溶融石英リアクターチューブ。研磨内面、サイドポート、精密研削フランジに対応。
Material: Synthetic fused silica Grade 2 (standard) or Grade 1 Inner Surface Finish: Ra ≤ 0.8 μm (standard) / Ra ≤ 0.1 μm (polished) OD Tolerance: ±0.3 mm Wall Thickness Uniformity: ±10%
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Material | Synthetic fused silica Grade 2 (standard) or Grade 1 |
| Inner Surface Finish | Ra ≤ 0.8 μm (standard) / Ra ≤ 0.1 μm (polished) |
| OD Tolerance | ±0.3 mm |
| Wall Thickness Uniformity | ±10% |
| He Leak Rate (All Welds) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Max OD | 400 mm |
石英リアクターチューブ
石英リアクターチューブは、CVD、エピタキシー、ALD、RTPなどの反応チャンバーに組み込まれる高純度チューブです。ガス分布、内面状態、接続精度がプロセス安定性に影響します。
製造と品質
内面研磨、サイドポート溶接、フランジ研削、アニールを組み合わせ、寸法、表面、リーク性能を管理します。
お問い合わせ時の情報
チューブ寸法、ポート数と位置、内面粗さ、フランジ仕様、使用プロセスをお知らせください。
