熔融石英
石英法兰与管件
精密加工的熔融石英法兰、变径接头、弯头和管接头，适用于半导体气路和炉管组件——兼容标准金属法兰接口。
材料: 熔融石英一级 法兰面平面度: < 0.05 mm 外径/内孔公差: ±0.1 mm 氦检漏率（装配后）: < 1×10⁻⁹ mbar·L/s
支持按需定制尺寸和规格。
技术规格
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | 熔融石英一级 |
| 法兰面平面度 | < 0.05 mm |
| 外径/内孔公差 | ±0.1 mm |
| 氦检漏率（装配后） | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 最大外径 | 400 mm |
| 垂直度（法兰面至内孔） | < 0.1 mm |
石英法兰与管件
石英法兰用于连接石英管、容器和注入器，以及将石英部件与炉管和气路系统中的金属组件连接。法兰接口必须在尺寸上与配合金属法兰兼容，并且石英本体必须能够适应石英（CTE 0.55×10⁻⁶/°C）与金属（CTE 10–17×10⁻⁶/°C）之间的热膨胀差异。
法兰类型
平面焊接法兰
实心石英圆盘，带精密磨削平面和内孔，熔接焊接至管端。
| 规格 | 数值 |
|---|---|
| 面平面度 | < 0.05 mm |
| 内孔公差 | ±0.05 mm |
| 垂直度 | < 0.1 mm TIR |
| 外径范围 | 50–400 mm |
| 可选面加工 | 磨削、研磨、抛光 |
阶梯/止口法兰
带有加工肩台（止口）的法兰，与配合金属法兰内孔同心定位——为对准精度要求高的装配提供自对中功能。
| 规格 | 数值 |
|---|---|
| 止口直径公差 | ±0.05 mm |
| 台阶高度公差 | ±0.1 mm |
| 同心度（止口至内孔） | < 0.05 mm TIR |
管件与转接件
| 零件类型 | 说明 |
|---|---|
| 变径接头 | 将两根不同外径的管在线连接 |
| 90°弯头 | 石英管弯曲至90° ± 1° |
| T形三通 | 分支连接，三个端口均焊接 |
| 管-法兰转接件 | 将管外径转换为法兰面接口 |
| 封头 | 平面或穹顶封闭端 |
| 磨口接头（24/29、34/35） | 标准实验室玻璃锥形接头 |
所有管件均经过熔接焊接和退火处理，所有焊接接头均通过氦检漏测试（< 1×10⁻⁹ mbar·L/s）。
接口兼容性
| 配合法兰系统 | 可提供石英等效件 |
|---|---|
| ASA（ANSI）管法兰 | ✓ |
| ISO-KF（NW）快速法兰 | ✓（石英本体 + 金属环） |
| 定制OEM螺栓孔型 | ✓（基于图纸） |
| Swagelok管接头 | ✓（石英管头 + 不锈钢螺母） |
