용융 석영

석영 플랜지 및 피팅

Name: 석영 플랜지 및 피팅
Brand: Tuguan Semiconductor

반도체 가스 라인과 퍼니스 튜브 조립용 정밀 가공 석영 플랜지, 리듀서, 엘보, 튜브 피팅입니다. 표준 금속 플랜지 인터페이스와 호환 가능합니다.

Material: Fused quartz Grade 1 Flange Face Flatness: < 0.05 mm OD/Bore Tolerance: ±0.1 mm He Leak Rate (Assembled): < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.

기술 사양

항목	값
Material	Fused quartz Grade 1
Flange Face Flatness	< 0.05 mm
OD/Bore Tolerance	±0.1 mm
He Leak Rate (Assembled)	< 1×10⁻⁹ mbar·L/s
Max OD	400 mm
Perpendicularity (Flange to Bore)	< 0.1 mm

석영 플랜지와 피팅은 퍼니스 튜브, 반응 튜브, 가스 라인, 습식 공정 부품의 연결부에 사용됩니다. 고순도 석영 일체 가공 또는 용접 구조로 장비 인터페이스에 맞춰 제작합니다.

플랜지면 평탄도, 외경, 내경, 직각도, 용접부 기밀성을 관리합니다. 금속 플랜지, O링, 클램프 구조와의 조합도 검토할 수 있습니다.

연결 규격, 외경, 내경, 실링 방식, 상대 부품 치수, 누설 요구사항을 공유해 주십시오.

반도체 퍼니스용 고순도 용융 석영 확산 및 산화 튜브입니다. 4~12인치 웨이퍼 공정용 직관, 플랜지형, 벨엔드 구성을 지원합니다.

CVD, 에피택시, 스퍼터링 반응기 인클로저용 성형 용융 석영 벨자와 돔입니다. 최대 500 mm 직경과 기밀 용접 플랜지를 지원합니다.

에피택시, CVD, RTP 시스템용 고순도 용융 석영 반응 튜브입니다. 폴리싱 내경, 사이드 포트, 정밀 연삭 플랜지를 지원합니다.

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