溶融石英
石英ビューポート窓
半導体プロセスチャンバー監視向けの光学研磨石英およびサファイア窓。UVから中赤外までの透過、金属またはCFフランジ気密構造に対応。
Materials Available: Fused quartz / Synthetic fused silica / Sapphire Surface Roughness: Ra < 0.5 nm (optical grade) Surface Form: λ/4 standard / λ/10 precision Parallelism: < 3 arc-min standard / < 1 arc-min precision
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Materials Available | Fused quartz / Synthetic fused silica / Sapphire |
| Surface Roughness | Ra < 0.5 nm (optical grade) |
| Surface Form | λ/4 standard / λ/10 precision |
| Parallelism | < 3 arc-min standard / < 1 arc-min precision |
| He Leak Rate | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| AR Coating | Available for 193, 248, 355, 532, 1064 nm |
石英ビューポート窓
ビューポート窓は、プロセスチャンバー内部の観察、光学測定、レーザー導入に使用されます。石英、合成石英、サファイアから波長、温度、プラズマ条件に合わせて選定します。
製造と品質
光学研磨、平面度管理、平行度管理、必要に応じたARコーティングや気密フランジ組立に対応します。
お問い合わせ時の情報
波長、窓径、厚み、平面度、コーティング、フランジ仕様、リーク要求をお知らせください。
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