Cuarzo fundido
Tubo de difusión de cuarzo
Tubos de difusión y oxidación de cuarzo fundido de alta pureza para hornos semiconductores, en configuraciones rectas, con brida o extremo campana para procesos de obleas de 4 a 12 pulgadas.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Material | Fused quartz GE-124 equivalent / Synthetic silica HPFS equivalent |
| Purity | ≥ 99.99% SiO₂ (Grade 1) / ≥ 99.9999% SiO₂ (Grade 2) |
| OD Tolerance | ±0.5 mm |
| Wall Thickness Tolerance | ±0.3 mm |
| Length Tolerance | ±1 mm |
| Bow (per 1000 mm) | < 1 mm |
| Surface Finish (Inner) | Ra ≤ 1.6 μm |
| He Leak Rate (Flanged) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
Tubo de difusión de cuarzo
El tubo de difusión de cuarzo es un componente central en difusión, oxidación, recocido y LPCVD. Su alta pureza, baja expansión térmica y estabilidad dimensional lo hacen adecuado para ciclos repetidos de alta temperatura.
Fabricación y calidad
Controlamos OD, espesor de pared, longitud, curvatura y acabado interior. Según la aplicación, podemos realizar soldadura de bridas, extremo campana y prueba de fuga.
Información para cotizar
Indique tamaño de oblea, modelo de horno, dimensiones del tubo, forma del extremo, temperatura y requisito de pureza.
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