Materiales
Cuarzo fundido para procesos de semiconductores
Cámaras, tubos, barquillas y piezas personalizadas de cuarzo fundido de alta pureza para difusión, grabado, limpieza y metrología.
Diseñado para procesos de ultrapureza
El cuarzo fundido es uno de los materiales más confiables para procesos térmicos y húmedos en la fabricación de semiconductores. Su baja expansión térmica, excelente resistencia al choque térmico y alta pureza química lo hacen adecuado para aplicaciones donde la estabilidad térmica, la limpieza iónica y la precisión dimensional son críticas.
Tuguan mecaniza componentes de cuarzo fundido para hornos de difusión, hornos de oxidación, equipos CVD, sistemas de grabado y módulos de limpieza húmeda. La gama incluye tubos de proceso, barquillas, paletas, anillos, cámaras, domos, ventanas de observación y piezas personalizadas según plano.
Propiedades clave
| Propiedad | Valor típico | Beneficio en proceso |
|---|---|---|
| Pureza | 99.99%+ SiO2 | Reduce la contaminación alcalina y metálica |
| Expansión térmica | 0.55 × 10⁻⁶/K | Mantiene la estabilidad dimensional en ciclos de alta temperatura |
| Punto de ablandamiento | aprox. 1665°C | Adecuado para equipos de proceso térmico |
| Temperatura de uso | Hasta 1100°C | Compatible con procesos de difusión y oxidación |
| Transmisión óptica | Alta desde UV hasta IR | Adecuado para ventanas ópticas de metrología e inspección |
Aplicaciones típicas
- Tubos de cuarzo para difusión y oxidación de obleas
- Barquillas y portadores de obleas para tratamiento térmico por lotes
- Anillos, domos y cámaras de cuarzo para equipos de grabado y plasma
- Tanques de proceso húmedo, estaciones de enjuague y piezas para manejo de ácidos
- Ventanas de observación y componentes ópticos para inspección y metrología
- Estructuras de cuarzo personalizadas para procesos de semiconductores, solar y LED
Capacidades de fabricación
Combinamos rectificado CNC, corte de precisión, pulido a llama, soldadura con hidrógeno-oxígeno, recocido y limpieza para fabricar geometrías complejas de cuarzo. El espesor, la planitud, la concentricidad y la calidad superficial se controlan según los requisitos del plano y las interfaces del equipo.
Las capacidades habituales incluyen:
- Corte y acabado de bordes en tubos de cuarzo de gran diámetro
- Mecanizado de placas, discos, anillos y bridas de cuarzo
- Ensambles soldados con asas, soportes y puertos
- Pulido micro a llama para reducir la generación de partículas
- Limpieza con agua DI ultrapura y embalaje limpio
Consideraciones de diseño
El cuarzo resiste muy bien el choque térmico, pero puede ser sensible a esfuerzos mecánicos localizados y a bordes afilados. Los ingenieros de Tuguan revisan radios, alivio de tensiones, transiciones de espesor y estructuras de soporte para reducir el riesgo de fractura en servicio.
Si las piezas estarán expuestas a plasma, vapor de HF o ciclos térmicos repetidos, recomendamos considerar desde el diseño la vida útil esperada, los cambios superficiales aceptables y los intervalos de limpieza.
Control de calidad
Los componentes de cuarzo se inspeccionan antes del envío en dimensiones, apariencia, tensión y estado de limpieza. Bajo solicitud, podemos proporcionar informes dimensionales, certificados de material, registros de calidad superficial y especificaciones de embalaje.
Para procesos sensibles a la contaminación ofrecemos limpieza dedicada con mínimo contacto metálico y opciones de doble embalaje.
Trabajar con Tuguan
Si está desarrollando una nueva pieza de cuarzo o reemplazando un consumible existente, envíenos sus planos, muestras o información de la interfaz del equipo. Revisaremos grado de material, tolerancias, acabado superficial y embalaje para proponer un componente de cuarzo apto para producción.