Capacidades
Taladrado y ranurado de precisión
Taladrado CNC con corona diamantada, taladrado ultrasónico y ranurado de precisión para cuarzo, zafiro y cerámica, con orificios desde 0.3 mm y precisión posicional de ±0.01 mm.
Taladrado y ranurado de materiales no metálicos frágiles
El taladrado y ranurado de cuarzo fundido, zafiro y cerámicas técnicas presenta desafíos como grietas radiales, astillado en entrada y salida, error de conicidad y acumulación de calor. Tuguan Semiconductor utiliza protocolos optimizados para cada combinación de material y herramienta, logrando orificios limpios y alta precisión posicional en producción.
Métodos de taladrado
Taladrado con corona diamantada
Es el método principal para orificios de 0.8 mm o más. Las coronas diamantadas huecas remueven material de forma anular, reduciendo fuerza de corte y calor.
| Especificación | Estándar | Precisión |
|---|---|---|
| Rango de diámetro | 0.8–150 mm | 0.8–50 mm |
| Tolerancia de diámetro | ±0.05 mm | ±0.01 mm |
| Precisión de posición | ±0.05 mm | ±0.02 mm |
| Redondez | ±0.03 mm | ±0.01 mm |
| Conicidad | < 0.02 mm / 10 mm | < 0.01 mm / 10 mm |
| Astillado de salida | < 0.3 mm | < 0.1 mm |
El refrigerante de agua DI, las placas de respaldo y las velocidades de avance calibradas al material ayudan a prevenir calor y astillado.
Taladrado ultrasónico
Para orificios menores a 0.8 mm, materiales muy duros como zafiro y SiC, o matrices de alta precisión, el taladrado asistido por ultrasonido combina rotación y vibración axial para reducir la fuerza de corte.
| Especificación | Valor |
|---|---|
| Diámetro mínimo | 0.3 mm |
| Relación profundidad/diámetro máxima | 10:1 |
| Acabado interior | Ra 0.4–1.6 μm |
| Daño subsuperficial | < 5 μm |
| Conicidad | < 0.005 mm / 10 mm |
Ranurado y fresado
Las ranuras rectas y contorneadas se mecanizan con discos diamantados o fresas en centros CNC.
| Característica | Capacidad |
|---|---|
| Ancho mínimo de ranura | 0.5 mm |
| Tolerancia de ancho | ±0.02 mm |
| Tolerancia de profundidad | ±0.02 mm |
| Rugosidad de pared | Ra 0.8–1.6 μm |
| Radio interno | ≥ 0.3 mm |
Matrices de orificios
Las placas tipo showerhead, inyectores de gas y placas portadoras se producen con programas CNC y posicionamiento servo-controlado. La fijación por vacío evita desplazamientos y mantiene una distribución uniforme del flujo.
| Especificación | Valor |
|---|---|
| Repetibilidad de paso | ±0.02 mm |
| Orificios máximos por pieza | 2,000+ |
| Uniformidad de diámetro | ±0.01 mm |
| Error de retícula | ±0.03 mm (verificado por CMM) |
Verificación de calidad
Los orificios y ranuras se verifican contra el plano mediante CMM, boroscopio, perfilómetro, calibres go/no-go y microscopio óptico para medir astillado de salida.