Componentes de cuarzo y cerámica para fabricación solar
La fabricación fotovoltaica comparte muchos equipos con la industria semiconductor, pero trabaja con volúmenes mucho mayores. Por eso son clave la repetibilidad, la velocidad de reposición y el coste por ciclo.
Procesos principales
Difusión de unión P/N
| Componente | Material | Punto clave |
|---|
| Tubo de difusión | Cuarzo fundido Grade 1 | Alto rendimiento, ciclos frecuentes |
| Barca de obleas | Cuarzo fundido Grade 1 | Formatos 156 / 210 mm |
| Tubo fuente | Cuarzo fundido Grade 1 | Compatibilidad con POCl₃ |
| Pala / horquilla | Cuarzo fundido Grade 1 | Manipulación de obleas grandes |
PECVD
| Componente | Material | Requisito |
|---|
| Placa de electrodo | Cuarzo fundido Grade 1 | Transparencia al plasma |
| Placa de distribución de gas | Cuarzo fundido Grade 1 | Patrón uniforme de orificios |
| Liner de cámara | Cuarzo fundido Grade 1 | Evita adherencia sobre metal |
| Componente | Material | Requisito |
|---|
| Tubo muffla | Cuarzo fundido Grade 1 | Resistencia a ciclado térmico |
| Tubo radiante | Cuarzo fundido Grade 1 | Emisión IR uniforme |
| Soporte de transporte | Alúmina o SiC | Resistencia a choque térmico |
Texturizado
| Componente | Material | Química |
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| Tanque de texturizado | Cuarzo fundido Grade 1 | KOH / NaOH o HF / HNO₃ |
| Tanque de enjuague | Cuarzo fundido Grade 1 | Agua DI |
| Rebose | Cuarzo fundido Grade 1 | Lavado en cascada |
Capacidad de suministro
- Programas de pedido abierto y suministro continuo
- Reposición rápida de barcas y tubos estándar
- Buena consistencia dimensional para líneas automatizadas
