Alúmina (Al₂O₃)
Portador y barquilla cerámica para obleas
Portadores, barquillas y casetes de obleas en alúmina y carburo de silicio de alta pureza para procesos semiconductores de alta temperatura, con excelente resistencia al desgaste y al choque térmico.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Materials Available | Al₂O₃ 99.5% / Al₂O₃ 99.9% / SiC (reaction-bonded) |
| Max Use Temperature | Application-dependent by ceramic grade |
| Slot Pitch Tolerance | Specified per drawing |
| Slot Width Tolerance | Specified per drawing |
| Flatness (Carrier Plate) | Reviewed by carrier design |
| Thermal Shock Resistance | Reviewed by thermal cycle |
Portador y barquilla cerámica para obleas
Portador y barquilla cerámica para obleas
Los portadores de alúmina y SiC sostienen obleas de forma estable en difusión, oxidación, RTP y otros procesos térmicos. Son adecuados cuando se requiere mayor rigidez, resistencia al desgaste y resistencia al choque térmico que el cuarzo.
Fabricación y calidad
Controlamos paso de ranura, ángulo de apoyo, planitud y condición superficial según plano. La pureza de alúmina, grado de SiC, limpieza y embalaje se seleccionan según la aplicación.
Información para cotizar
Indique tamaño de oblea, número de ranuras, paso, temperatura de uso, interfaz del equipo y cantidad estimada.
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