알루미나 (Al₂O₃)
세라믹 웨이퍼 캐리어 및 보트
고온 반도체 공정을 위한 고순도 알루미나 및 실리콘카바이드 웨이퍼 캐리어, 보트, 카세트입니다. 우수한 내마모성과 열충격 저항성을 제공합니다.
Materials Available: Al₂O₃ 99.5% / Al₂O₃ 99.9% / SiC (reaction-bonded) Max Use Temperature: Application-dependent by ceramic grade Slot Pitch Tolerance: Specified per drawing Slot Width Tolerance: Specified per drawing
맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.
기술 사양
| 항목 | 값 |
|---|---|
| Materials Available | Al₂O₃ 99.5% / Al₂O₃ 99.9% / SiC (reaction-bonded) |
| Max Use Temperature | Application-dependent by ceramic grade |
| Slot Pitch Tolerance | Specified per drawing |
| Slot Width Tolerance | Specified per drawing |
| Flatness (Carrier Plate) | Reviewed by carrier design |
| Thermal Shock Resistance | Reviewed by thermal cycle |
세라믹 웨이퍼 캐리어 및 보트
세라믹 웨이퍼 캐리어 및 보트
알루미나와 SiC 캐리어는 확산, 산화, RTP 등 고온 공정에서 웨이퍼를 안정적으로 지지합니다. 석영보다 높은 강성, 내마모성, 열충격 저항이 필요한 라인에 적합합니다.
제조 및 품질
슬롯 피치, 좌면 각도, 평탄도, 표면 상태를 도면에 맞춰 관리합니다. 적용 조건에 따라 알루미나 순도, SiC 등급, 세정 및 포장 방식을 선택할 수 있습니다.
문의 시 필요한 정보
웨이퍼 크기, 슬롯 수, 피치, 사용 온도, 장비 인터페이스, 예상 수량을 알려 주십시오.
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