溶融石英
石英フォーカスリング・エッチリング
プラズマエッチングおよびCVDチャンバー向けの精密加工石英フォーカスリング、エッチリング、エッジリング。±0.01 mm公差、Ra 0.1 μm仕上げに対応。
Material: Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 OD Tolerance: ±0.02 mm ID Tolerance: ±0.02 mm Flatness (Top Surface): < 0.02 mm
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Synthetic fused silica Grade 2 |
| OD Tolerance | ±0.02 mm |
| ID Tolerance | ±0.02 mm |
| Flatness (Top Surface) | < 0.02 mm |
| Parallelism | < 0.02 mm |
| Surface Roughness | Ra 0.1–0.4 μm |
石英フォーカスリング・エッチリング
石英リングはプラズマチャンバー内でウェーハ周辺の電界、ガス流、堆積状態を安定させる消耗部品です。寸法精度と表面仕上げがプロセス均一性に直結します。
製造と品質
外径、内径、平面度、平行度、面取り、表面粗さを管理します。消耗部品としての交換性を考慮し、既存品と互換寸法で製作できます。
お問い合わせ時の情報
図面、旧品サンプル、チャンバー型式、重要寸法、表面要求を共有してください。
